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探針用XYZ平臺

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M-TPP10XYZ-03L(2).pngM-TPP10XYZ-03L(1).png

型號\規格

軌道模式

軸向

行程

真直度

平行度

Sensitivity

重量

TPP10XYZ-03

Ball Guide

XYZ

±4.5mm

±2um

±5um

1um

0.3